Le parti in rame sottovuoto delle apparecchiature a semiconduttore utilizzano la lavorazione CNC di tornitura per risolvere l'ermeticità e la conducibilità termica nell 'ambiente ad alto vuoto e supportano la qualità personalizzata di rame senza ossigeno C11000, le tolleranze possono essere fino a ± 0,01 mm per la superficie sigillata della cavità, il livello di connessione del tubo ondulato e la struttura di supporto interna, fornendo un processo composto da sgrossatura a macchina fine per garantire che la parete interna sia pulita Ra0,4 μ m, per soddisfare i requisiti del vuoto di 10 ^-5 Pa.
Specifiche e capacità di lavorazione
Le parti sono principalmente rame senza ossigeno C11000, rame del berillio C26800 o ottone, che possono essere selezionati in base alle esigenze di gestione termica dell 'attrezzatura sotto vuoto per coprire il diametro di lavorazione di Φ 5-Φ 300mm, lunghezza L5 - 800mm, spessore della parete più piccolo valore tipico di 0,5 mm, il peso massimo secondo i seguenti parametri di processo fondamentali personalizzati:
- Tipo di materiale: C11000 Cu privo di ossigeno (conducibilità ≥ 100% IACS), C26800 Cu berillio (alta elasticità, rilassamento resistente allo stress)
- Intervallo di dimensioni: diametro tornitura Φ 5-Φ 300mm, lunghezza L5 - 800mm; intervallo di fresatura ± 0.01mm
- Classe di tolleranza: lamiere chiave ± 0,01 mm, dimensione generale ± 0,02 mm
- Pulizia superficiale: lato sigillato Ra0,4 μ m, parete interna Ra0,8 μ m, parete esterna Ra1,6 μ m
- Trattamento termico: Solubile + trattamento dell 'invecchiamento facoltativo, durezza del berillio e rame fino a HV400 +
- Trattamento superficiale: ottundimento, anodizzazione (parti in alluminio) o lucidatura, le parti in rame di solito rimangono metalliche o nichelate
Applicazioni aziendali e applicazioni tipiche
Tali pezzi di rame sono ampiamente utilizzati nelle macchine litografiche a semiconduttore, nelle macchine per incisione e nei moduli a vuoto delle apparecchiature PVD/CVD, tra cui:
- La camera sottovuoto sigillato flangia: bisogno di concentrazione di alta precisione per prevenire la perdita di elio
- L'anello interno di supporto e pezzo di posizionamento: per resistere al bombardamento al plasma, la resistenza alla corrosione deve essere
- Componenti termici e termici: componenti in rame ad alta conduttività termica per un 'esportazione rapida del calore da generatore di radiofrequenza
- Stazione di montaggio della finestra RF: con un filettatura precisa per garantire la stabilità della trasmissione a microonde
L'acquirente è spesso preoccupato per il tasso di scarico delle parti sotto il vuoto di 10 ^-5 a 10 ^-7 Pa, il rame senza ossigeno a causa del basso contenuto di ossigeno riduce significativamente la pressione di fondo, è la prima scelta di apparecchiature di fascia alta.
Installazione di processi e attrezzature
Utilizzare il centro di lavorazione del tornante e dell 'automobile per completare la maggior parte del processo, 72 attrezzature CNC, 8 trefoli sono progettati per albero più sottile di L/D> 15 design, il supporto rigido è ridotto lasciare che la camera complessa utilizzi un centro di lavorazione a 5 assi per modellare la parete interna, evitare errori di tenuta chiave da tornio di precisione dedicato, l'ottimizzazione del percorso dell' utensile per garantire l'assenza di tracce.
Qualità esterna e coerenza di massa
Il controllo esterno è il vantaggio di differenziazione principale attraverso il monitoraggio online delle forze di taglio e le vibrazioni del mandrino, eliminando l'influenza della deformazione termica attraverso il monitoraggio statistico del processo SPC, la dimensione critica Cpk ≥ 1.33 controllo completo prima della spedizione, utilizzando l'imager e verifica della rugosità, per garantire che nessun graffio, nessuna macchia di ossidazione, nessun terremoto di elaborazione sia un pezzo con requisiti superficiali molto elevati, fornendo un vuoto lucidato o un 'opzione elettrolitica per ottenere l'effetto speculare.
Test di qualità e flusso personalizzato
La gestione della qualità si svolge lungo tutto il ciclo di vita e segue:
- Controllo ricevuto: verifica del certificato materiale, controllo dello spettrometro del contenuto degli elementi, campionamento della durezza
- Conferma del primo pezzo: Misurazione a coordinate full size, test di rilevamento perdite in vuoto (requisiti)
