Для вакуумных полостей полупроводникового оборудования применяется токарная обработка с ЧПУ для обеспечения герметичности и теплопроводности в условиях высокого вакуума, поддерживает специальные марки C11000 бескислородной меди с допуском до ±0,01 мм. Для уплотнения полостей, соединения сильфонных труб и внутренней опорной конструкции применяется комбинированный процесс, обеспечивающий чистоту внутренней стенки Ra0,4 мкм, что соответствует требованиям к вакууму 10^-5 Па.
Технические характеристики и производственные мощности
Основные материалы данной детали: C11000 бескислородная медь, C26800 бериллий меди или латунь, можно выбрать выбор материала в соответствии с требованиями к термическому управлению вакуумным оборудованием. Диаметр обработки перекрывает диаметр Φ5-Φ300 мм, длина L5-800 мм, минимальная толщина стенки номинальная величина 0,5мм, максимальный вес по чертежу ниже. Основные технологические параметры:
- Марки материалов: C11000 бескислородная медь (электропроводность ≥100 %IACS), C26800 бериллий меди (высокая упругая, стойкость к ослаблению напряжения)
- Диапазон размеров: диаметр точения Φ5-Φ300 мм, длина L5-800 мм; диапазон фрезерования ±0,01 мм
- Класс допуска: поверхность ключевой посадки ±0,01мм, общие размеры ±0,02мм
- Чистота поверхности: уплотнительная поверхность Ra0,4 мкм, внутренняя поверхность Ra0,8 мкм, внешняя поверхность Ra1,6 мкм
- Термообработка: опциональная твердая и речная обработка, бериллий медный до HV400+
- Обработка поверхности: пассивация, анодирование (алюминиевые детали) или полировка, медные детали обычно являются металлическими или никелированными
Применяемые отрасли и типичные виды применения
Эти медные детали широко используются в полупроводниковых литографиях, травлениях, устройствах PVD/CVD. Конкретные сценарии применения включают:
- Уплотнительный фланец вакуумной полости: требуется высокая точность концентричности во избежание утечки гелия при проверке
- Внутренние опорные кольца и установочные детали: выдерживают плазменную бомбардировку, требуется коррозионная стойкость
- Компоненты теплового затопления и охлаждения: высокотеплопроводные медные детали для быстрого выделения тепла от радиочастотных генераторов
- Установка радиочастотного окна: точная резьба для обеспечения стабильности микроволновой передачи
Закупщик часто обращает внимание на скорость выхода деталей при вакууме 10^-5 ~ 10^-7 Па, бескислородная медь значительно снижает фоновое давление из-за низкого содержания кислорода, является предпочтительным выбором для оборудования высшего класса.
Технология и оборудование
Для выполнения большинства операций используются столярные станки и фрезеровочные центры. 8 из 72 станков с ЧПУ предназначены для обработки валов с удлиненным коэффициентом L/D>15. Для сложных камер используются 5-осевые обрабатывающие центры для обработки фасонных поверхностей, чтобы избежать ошибок при повторном зажиме. Ключевые уплотняющие поверхности обрабатываются специально специально для точной обработки, а траектория инструмента оптимизирована таким образом, чтобы гарантировать отсутствие следов шнура.
Качество внешнего вида и соответствие пакету
В случае с высокой степенью детализации, с помощью которой можно получить эффект от диафрагмы, вы можете получить доступ к системе обработки данных, а также к системе обработки данных, которая позволяет получить эффект от обработки. Для обработки поверхности требуется использовать опцию вакуумной или электролитической полировки.
Контроль качества и настройка процесса
Контроль качества проходит на протяжении всего жизненного цикла, а следующие процессы:
- Входной контроль: проверка сертификатов материалов, контроль содержания элементов спектрометром, выборочный контроль твердости
- Первое подтверждение: измерение по трем координатам полного размера, вакуумное тестирование на утечку (требования)
