Прецизионная керамическая основа полупроводникового травления является основной частью высокоуровневого технологического оборудования, который несет ответственность за поддержку пластин и вакуумное уплотнение, точность размеров, плоскостность и чистота поверхности напрямую определяют равномерность травления и качество оборудования. ShowyMetal предоставляет услуги по обработке на основе высокоточного фрезерования с ЧПУ, поддерживает материалы фундаментов, такие как алюминий, титан, нержавеющая сталь и инженерные пластмассы, с контролем допуска в пределах ±0,01 мм, шероховатость поверхности Ra0,4 мкм, отвечает строгим требованиям полупроводникового оборудования к низким зернистым веществам и высокой согласованности, а также позволяет быстро отбирать и поставлять партии по чертежам.
Технические характеристики и производительность: марка материала, диапазон допусков и параметры обработки поверхности
Для различных технологических требований материал фундамента должен быть сбалансирован по теплопроводности, весу и коррозионной стойкости. Мы предлагаем поддержку различных марок, гарантирующих высокую степень соответствия основных размеров между партиями:
- Область материала6061/6063/7075 алюминиевый сплав, 304/316L нержавеющая сталь, титановый сплав, ABS/PC/PEEK Инженерный пластик
- Допуски размеровОбычный допуск ±0,02мм, поверхность и плоскость ключевой посадки могут достигать ±0,01мм.
- Очищение поверхности: Обычная поверхность Ra0.8 мкм, точная функциональная поверхность Ra0.4 мкм, поддержка эффекта зеркальной полировки
- Обработка поверхности:: анодирование (жесткое/стандартное), пескоструйная обработка, проволока, гальванизация, удаление заусенцев и очистка сборки
- Индивидуальные возможностиПоддержка толщины стенки 0,5 мм и более, номинальное значение веса единицы 0,5 -15 кг, полностью по чертежу или 3D-модели.
Отрасли и типичные виды применения: конкретные места установки в полупроводниковом оборудовании
Прецизионная керамическая основа широко применяется внутри оборудования, которое требует управления вакуумной средой и тепловым управлением. Основные места установки включают в себя:
- полупроводниковые травления/мембранные установкиВ качестве основания для держателя пластины, следует выдерживать высокую температуру от источника радиочастотного тока и обеспечить ровную поверхность вакуума уплотнения
- Литография/измерительное оборудование:: В качестве подставки для оптических объективов или датчиков требуется очень высокий допуск формы и расположения для предотвращения искажений изображения
- Медицинское оборудование/оборудование для обнаруженияВ качестве основы для рентгеновских или КТ компонентов необходимо экранировать помехи и поддерживать долговременную стабильность размеров
- Аэрокосмическая/робототехника.В качестве опорного основания для сервомотора или прецизионного подшипника, он должен быть легким и иметь высокую жесткость
Эти приложения требуют, чтобы компоненты не имели микроскопических трещин, не были остаточных металлических стружек и были минимальными вариациями размеров между партиями, чтобы обеспечить взаимозаменяемость сборки в течение длительного времени работы оборудования.
Качество внешнего вида и соответствие продукции: отсутствие царапин, высокая чистота и контроль между партиями
В прецизионном производстве качество-это не только эстетическое требование, но и функциональная надежность. Наше главное преимущество заключается в том, что «высокая яркость, отсутствие царапин и дефектов» является жестким заводским стандартом и обеспечивает контроль качества продукции:
- Контроль поверхностиИспользование специальных зажимов и точного планирования пути инструмента, чтобы избежать нарезки и следов зажима; перед отгрузкой проходит специальная очистка, чтобы обеспечить отсутствие остатков режущей жидкости и частиц металла
- Консистентность пакетаБлагодаря управлению единой библиотекой технологических параметров 72 станков с ЧПУ одного типа, обеспечивается, что отклонение ключевых размеров первой и последней деталей находится в пределах ±0,01 мм
- Внешний осмотр: 100% поверхности полного контроля не имеют видимых царапины, заусенцев, ударов, внешний вид между партиями одинаков
Технологическое оборудование, сроки сдачи производственных мощностей и процесс контроля качества
ShowyMetal имеет 72 станка с ЧПУ, включая 3/4/5 осевые обрабатывающие центры, токарные станки с ЧПУ, пельные и фрезерованные агрегаты, а также возможности для литья под давлением и обработки листового металла, что позволяет выбрать оптимальный путь обработки в зависимости от сложности конструкции основания:
- Конфигурация устройств:: 5-осевой обрабатывающий центр поддерживает первичный зажим для выполнения сложной фрезеровки поверхности, уменьшения кумулятивной погрешности; подход подходит для основных деталей фундамента с высоким отношением длины диаметра
- Производительность и срок годностиПериод отбора проб короткий, может быть совместим с узлами проекта для выпуска продукции; оптовые заказы обычно доставляются 15-25 дней, поддержка поставок партий
- Полный контроль качества процесса：
- Входной контроль: проверка марки сырья и основных свойств
- Первое подтверждение: проверка полного размера с тремя координатами, подтверждение технической осуществимости
- Контрольный контроль технологического процесса: 100% ключевого размера для критической операции
- Полный контроль доставки: три координаты, оптические измерения, конечный контроль прибора шероховатости, вместе с грузом предоставить отчет CMM
| Сравнение вариантов обработки | Применимые сцены | Преимущества | Примечания |
|---|---|---|---|
| 3-осевая фрезерование CNC | Плоские и ступенчатые основания с более простой конструкцией | Высокая степень использования оборудования и относительно контролируемая стоимость | Сложные фасоны должны быть установлены несколько раз, суммарная погрешность должна строго контролироваться |
| 5-осевой фрезерование CNC | Одноэтажное основание со сложной поверхностью, наклонной монтажной плоскостью | Обработка первого зажима с меньшим допуском формы и расположения и лучшей отделкой поверхности | Сложная разработка программы, требует высокоточного 5-осевого оборудования |
| Точение ЧПУ + фрезерование | Основания поворотного тела с осевыми фрезерными отверстиями или боковыми характеристиками | Высокая коосность, меньше переключателей устройств, подходит для деталей с высоким отношением длины. | Жесткие шпинделя фрезерованных станков |
Для конкретных чертежей наша команда инженеров предоставляет рекомендации DFM (производимость) перед предложением предложения, что позволяет оптимизировать конструкцию, чтобы обеспечить соответствие технологической осуществимости и эффективности затрат.
Часто задаваемые вопросы о покупке прецизионных керамических фундаментов полупроводниковых травлений
Сколько может быть допуск? Что делать с высоким уровнем плоскостности?
Обычный допуск на размер ±0,02 мм, поверхность и плоскость ключевой посадки могут достигать ±0,01 мм. Для очень высокой плоскостности можно добавить процедуру измельчения или очистки после обработки с ЧПУ. Конкретные решения должны быть оценены в соответствии с чертежом.
Каковы варианты обработки поверхности и как избежать дефектов поверхности?
Поддержка анодирования, пескоструйной обработки, проволоки, гальванизации и зеркальной полировки. Защита от царапин с помощью специальных приспособлений, 100% поверхности перед отгрузкой, отсутствие царапин и дефектов, а также по требованию предоставить отчет о испытании солевого тумана или адгезии.
Сколько времени длится отбор проб? Сколько времени длится пакетный период?
Период отбора проб короткий, обычно в соответствии со сложностью чертежа поставлять первую деталь (включая контроль) в течение 3-7 дней; заказ на поставку партии 15-25 дней, поддержка поставки партии грузов в соответствии с узлами проекта клиента.
Можно ли настроить их в соответствии с графиками? Какие форматы файлов поддерживаются?
Полная поддержка для создания образцов, принятие STEP, IGS, SLDPRT и других 3D форматов и 2D чертежей, команда инженеров будет предоставлять рекомендации по оптимизации DFM, чтобы помочь клиентам оптимизировать затраты при обеспечении точности.
Как обеспечить согласованность между пакетами?
С помощью управления единым хранилищем технологических параметров, 72 оборудования с ЧПУ имеют общие процедуры обработки, проводится 100% полный контроль ключевых размеров, и вместе с грузом предоставляется отчет о трехкоординатной проверке, чтобы обеспечить соответствие размеров между партиями и внешним видом.
Чтобы оценить осуществимость обработки фундаментов или получить индивидуальное предложение, мы приглашаем предоставить чертежи или 3D-файлы, и наша команда инженеров ответит на предложения и предложения DFM в течение 24 часов, чтобы ускорить разработку проекта.
